微波等离子体CVD合成金刚石薄膜

• 作者: 张志明 洪爱玲
• 来源期刊: 上海硅酸盐
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 微波等离子体 CVD 金刚石薄膜
• 年，卷（期）: shgsy,（1）
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TQ163

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志明		46	553	15.0	21.0
2	洪爱玲		1	0	0.0	0.0