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PVD法制备ITO膜的发展概况
PVD法制备ITO膜的发展概况
作者:
于传耀
信觉俗
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ITO膜
PVD法
透明导电膜
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篇名
PVD法制备ITO膜的发展概况
来源期刊
薄膜科学与技术
学科
工学
关键词
ITO膜
PVD法
透明导电膜
年,卷(期)
1992,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
7-14
页数
8页
分类号
TB43
字数
语种
DOI
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ITO膜
PVD法
透明导电膜
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位:
南京电子器件研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
南京1601信箱43分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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327
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