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扫描电子显微镜
表面形貌
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自动对焦方法
轴向测量
轴向差动共焦
物方差动
微观形貌检测
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用坐标测量显微镜测量螺纹
来源期刊 光仪通讯 学科 工学
关键词 坐标测量 显微镜 测量 螺纹
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 33-35
页数 3页 分类号 TG85
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研究主题发展历程
节点文献
坐标测量
显微镜
测量
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