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文献信息
| 篇名 | 微污染与LSI成品率 | ||
| 来源期刊 | 江南半导体通讯 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | LSI 污染 洁净度 成品率 | ||
| 年，卷（期） | jnbdttx_1992,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 31-37,51 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TN47 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
五维指标
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LSI
污染
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成品率
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期刊影响力
江南半导体通讯
主办单位：
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
141
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1
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