用于集成光这的LIGA技术

Rogner,A; 大舟

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用于集成光这的LIGA技术

作者：

Rogner,A 大舟

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集成光学

LIGA技术

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文献信息

篇名	用于集成光这的LIGA技术
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	集成光学 LIGA技术
年，卷（期）	1992,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	6-9
页数	4页	分类号	TN25
字数		语种	中文
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