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CuO纳米线
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碳纤维
预氧化
热氧化
工业有机废气热氧化技术研究进展
有机废气
环境
污染
催化剂
蓄热式热氧化
蓄热式催化氧化
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用热氧化化方法试制亚微光级间隙的机械结构
来源期刊 光机情报 学科 工学
关键词 亚微米 机械结构 半导体 热氧化法
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-13
页数 4页 分类号 TN304.05
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
亚微米
机械结构
半导体
热氧化法
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期刊影响力
光机情报
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