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Al—Ti—TiSi—Si多层金属电极及其在玻钝硅整流...
Al—Ti—TiSi—Si多层金属电极及其在玻钝硅整流...
作者:
刘庆
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玻钝硅
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Al—Ti—TiSi—Si多层金属电极及其在玻钝硅整流...
来源期刊
电子工艺简讯
学科
工学
关键词
玻钝硅
整流二级管
金属电极
应用
年,卷(期)
1992,(3)
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研究方向
页码范围
8-10
页数
3页
分类号
TN313.5
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金属电极
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电子工艺简讯
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月刊
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1004-7832
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