微机技术和传感器

江刺正喜

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微机技术和传感器

作者：

江刺正喜

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微机械

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文献信息

篇名	微机技术和传感器
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	微机械传感器微细加工
年，卷（期）	1992,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	14-15
页数	2页	分类号	TP212
字数		语种	中文
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