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单级悬浮工作台平面运动测量系统对准误差分析
误差分析
悬浮工作台
运动学模型
对准误差
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摩擦误差
误差补偿
伺服系统建模
X-Y工作台
标称值代替示值计算数表最大允许误差的研究
数表
最大允许误差
标称值
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滑移及黏度对超精密气浮工作台性能影响研究
气浮工作台
滑移
黏度
承载力
刚度
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 论JX7型万工显船形工作台刚度及其引起的示值系统误差
来源期刊 光仪通讯 学科 工学
关键词 工具显微镜 船形工作台 刚度 误差
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-6
页数 6页 分类号 TH741.8
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节点文献
工具显微镜
船形工作台
刚度
误差
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