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磁控溅射制备参数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
磁控溅射
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射频磁控溅射
溅射时间
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光电性能
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氮化钛薄膜
磁控溅射
溅射气压
光学性能
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 磁控溅射制备ZnO薄膜的物化结构与光学常数的研究
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 氧化锌 薄膜 磁控溅射 光学常数
年,卷(期) 1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 44-52
页数 9页 分类号 TN304.21
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氧化锌
薄膜
磁控溅射
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研究起点
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薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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