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线宽测量阈值
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文献信息
| 篇名 | 线宽测量阈值 | ||
| 来源期刊 | LSI制造与测试 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 集成电路 VLSI 线宽 测量 光刻 | ||
| 年，卷（期） | lsizzycs_1992,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 21-25 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN470.57 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
VLSI
线宽
测量
光刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位：
上海光学仪器研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
31-1459/TN
开本：
出版地：
上海江西中路450号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
366
总下载数（次）
0
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