基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
用于激光扫描测径仪的数据采集系统设计
DSP
CPLD
激光扫描
测径
数据采集
全日盲紫外成像探测仪光学系统设计
紫外成像
探测仪
同轴光学系统
分辨率
激光调阻机光学系统设计
光学系统
激光调阻
JCJ-ⅡT二维激光测径仪
激光
测径
二维
CPLD
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 一种可变物距的测径光学系统:变距测径仪的设计
来源期刊 LSI制造与测试 学科 工学
关键词 单晶炉 拉晶 测径仪 半导体材料
年,卷(期) 1992,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 31-35
页数 5页 分类号 TF806.9
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1992(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
单晶炉
拉晶
测径仪
半导体材料
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
双月刊
31-1459/TN
上海江西中路450号
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
0
总被引数(次)
0
论文1v1指导