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中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究
氮化铝
形貌
折射率
磁控溅射
铝表面磁控溅射沉积不锈钢薄膜及其性能
直流反应磁控溅射
铝箔
不锈钢
薄膜
磁控溅射沉积含He纳米晶钛膜制备
磁控溅射
氦含量
氦钛膜
平均晶粒尺寸
喷射成形高速钢沉积坯性能分析
喷射成形
高速钢
微观组织
性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 高速钢的反应磁控溅射氮化钛沉积
来源期刊 国外金属加工 学科 工学
关键词 高速钢 反应磁控溅射 氮化钛 沉积
年,卷(期) gwjsjgb_1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 38-43
页数 6页 分类号 TG174.44
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DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
高速钢
反应磁控溅射
氮化钛
沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外金属加工
季刊
36-1098/TG
南昌市上海路173号
出版文献量(篇)
1083
总下载数(次)
2
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