两步外延工艺研究

孙玉典; 李兴凯

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两步外延工艺研究

作者：

孙玉典李兴凯

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掺杂

处延工艺

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文献信息

篇名	两步外延工艺研究
来源期刊	延河集成电路	学科	工学
关键词	掺杂处延工艺研究
年，卷（期）	1992,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	85-87
页数	3页	分类号	TN305.3
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