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α—Si：H TFT中α—SiN：H／α—Si：H界面态的理论分析

α—Si：H TFT中α—SiN：H／α—Si：H界面态的理论分析

作者：

石立峰阎宝杰

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界面态

非晶硅

场效应管

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文献信息

篇名	α—Si：H TFT中α—SiN：H／α—Si：H界面态的理论分析
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	界面态非晶硅场效应管
年，卷（期）	1992,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	42-48
页数	7页	分类号	TN386
字数		语种
DOI

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