氢在类金刚石薄膜工艺中的作用

夏义本; 居建华

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氢在类金刚石薄膜工艺中的作用

氢在类金刚石薄膜工艺中的作用

作者：

夏义本居建华

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金刚石

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文献信息

篇名	氢在类金刚石薄膜工艺中的作用
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	金刚石薄膜氢
年，卷（期）	1992,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	32-36
页数	5页	分类号	TN304.18
字数		语种
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