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微波等离子体
化学气相沉积
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 氧在微波等离子体辅助CVD低温沉积金刚石薄膜中的作用
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 金刚石 薄膜 沉积 MPCVD
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24-31
页数 8页 分类号 TN304.18
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金刚石
薄膜
沉积
MPCVD
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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