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关键词云
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文献信息
篇名 靶无中毒判据的探讨
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 反应溅射 靶中毒
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-23
页数 7页 分类号 TN305
字数 语种
DOI
五维指标
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引文网络
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
反应溅射
靶中毒
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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0
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