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一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计
离子束溅射技术
真空镀膜
控制软件
指令集
重构
一种新的工艺制备克拉霉素掩味颗粒
克拉霉素
微丸
掩味颗粒
一种新的头孢吡肟合成工艺
头孢吡肟
GCLE
一锅法
合成
一种新的蠕虫防范方法
攻击数据包
蠕虫防范
特征提取
异常检测
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 一种新的溅射工艺
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 溅射工艺 Surface Solution公司 表面淀积 直流磁控管
年,卷(期) 1992,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 54
页数 1页 分类号 TG174.444
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
溅射工艺
Surface
Solution公司
表面淀积
直流磁控管
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
总下载数(次)
46
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0
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