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摘要:
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薄膜应力测量方法及影响因素研究进展
薄膜应力
应力测量
应力控制
基底曲率法
用广义Rayleigh波测量压电薄膜结构的初应力
初应力
薄膜
压电介质
广义Rayleigh波
相速度
多晶硅薄膜残余应力显微拉曼谱实验分析
拉曼谱
多晶硅
薄膜
残余应力
陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控
金属化
薄膜
应力
AlN
沉积温度
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 薄膜应力的测量
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 薄膜 应力 测量
年,卷(期) 1992,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-9
页数 9页 分类号 TB43
字数 语种
DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
薄膜
应力
测量
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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