微机械深层光刻与铸模技术（上）

Huber; 大舟

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微机械深层光刻与铸模技术（上）

微机械深层光刻与铸模技术（上）

作者：

Huber 大舟

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微机械

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文献信息

篇名	微机械深层光刻与铸模技术（上）
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	微机械光刻铸模半导体
年，卷（期）	1992,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	1-5
页数	5页	分类号	TN305.7
字数		语种	中文
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