用光测量微小尺寸

佐久间健; 侯小真

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用光测量微小尺寸

作者：

佐久间健侯小真

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微小尺寸

光测量

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文献信息

篇名	用光测量微小尺寸
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	微小尺寸光测量三维测量机
年，卷（期）	1992,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	10-14
页数	5页	分类号	TH740.6
字数		语种	中文
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