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复合
钝化
结构
薄膜
PECVD
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期刊影响力
江南半导体通讯
主办单位：
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
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创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
141
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