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等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
等离子体刻蚀
金刚石膜
进展
等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究
感应耦合等离子体
干法刻蚀
电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的工艺研究
电感耦合等离子体刻蚀
GaN
刻蚀速率
选择比
直流偏压
低温等离子体刻蚀和接枝对 芳纶纤维/环氧复合材料力学性能的影响
芳纶纤维
低温等离子体
接枝改性
复合材料
电机绝缘
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 等离子体刻蚀技术
来源期刊 电子与仪表技术 学科 工学
关键词 等离子体 刻蚀
年,卷(期) 1992,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 32-34
页数 3页 分类号 TN305.7
字数 语种
DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
刻蚀
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子与仪表技术
双月刊
31-1446/TH
上海肇嘉滨路750号
出版文献量(篇)
226
总下载数(次)
0
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0
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