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使用气体冲洗法防止真空系统中的油蒸汽返流
使用气体冲洗法防止真空系统中的油蒸汽返流
作者:
Tsuts.,Y
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真空系统
半导体
油汽
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文献信息
篇名
使用气体冲洗法防止真空系统中的油蒸汽返流
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
真空系统
半导体
油汽
返流
年,卷(期)
1992,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
24-27
页数
4页
分类号
TN305
字数
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四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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395
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