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文献信息
篇名 用DC—PCVD装置在绝缘体蓝宝石上沉积TiN的研究
来源期刊 重庆特钢 学科 工学
关键词 蓝宝石 DC-PCVD TIN 薄膜 沉积
年,卷(期) 1992,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 277-278
页数 2页 分类号 TG174.442
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DOI
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研究主题发展历程
节点文献
蓝宝石
DC-PCVD
TIN
薄膜
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期刊影响力
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季刊
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出版文献量(篇)
252
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