作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
Co离子注入ITO薄膜的磁性研究
ITO薄膜
离子注入
室温铁磁性
离子注入表面改性技术的应用与发展
离子注入
表面改性
应用
离子注入改善电接触微动磨损研究
电接触
磨损
离子注入
离子注入碳对铀表面初始氧化行为影响的研究
离子注入
铀表面
初始氧化
俄歇电子能谱
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 用1MeV离子注入和自对准TiSi2制造的高抗...
来源期刊 江南半导体通讯 学科 工学
关键词 集成电路 CMOS 自对准 离子注入
年,卷(期) 1992,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 59-70
页数 12页 分类号 TN432.05
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1992(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
集成电路
CMOS
自对准
离子注入
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江南半导体通讯
双月刊
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
出版文献量(篇)
141
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导