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摘要:
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冲击结晶技术制备亚微米TATB粒子的研究
亚微米TATB
冲击结晶技术
粒子粒径
一种基于软件寻位的数控加工技术
机加工技术
软件定位
位姿自适应
基于工控机的非圆齿轮插齿数控加工技术研究
非圆齿轮
插齿
插补
工控机
实时控制
冬枣香酥片的加工技术
冬枣
冬枣香酥片
加工工艺
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 4M位DRAM的亚微米基本圆片加工技术
来源期刊 江南半导体通讯 学科 工学
关键词 随机存贮器 DRAM 沟槽电容 工艺
年,卷(期) 1992,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 95-96,107
页数 3页 分类号 TP333.8
字数 语种 中文
DOI
五维指标
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引文网络
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
随机存贮器
DRAM
沟槽电容
工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江南半导体通讯
双月刊
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
出版文献量(篇)
141
总下载数(次)
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