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4M位DRAM的亚微米基本圆片加工技术
4M位DRAM的亚微米基本圆片加工技术
作者:
松川隆行
陈学珍
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
随机存贮器
DRAM
沟槽电容
工艺
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篇名
4M位DRAM的亚微米基本圆片加工技术
来源期刊
江南半导体通讯
学科
工学
关键词
随机存贮器
DRAM
沟槽电容
工艺
年,卷(期)
1992,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
95-96,107
页数
3页
分类号
TP333.8
字数
语种
中文
DOI
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江南半导体通讯
主办单位:
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
141
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