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文献信息
篇名 化学气相沉积技术的新进展—第8届欧洲CVD研讨会
来源期刊 国外稀有金属动态 学科 工学
关键词 化学气相沉积 进展
年,卷(期) 1992,(16) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-5
页数 2页 分类号 TG174.44
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
化学气相沉积
进展
研究起点
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国外稀有金属动态
半月刊
出版文献量(篇)
189
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