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摘要:
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半导体制冷研究综述
半导体制冷
高优值
散热
半导体制冷材料的发展
珀耳帖效应
半导体制冷
半导体材料
优值系数
半导体制冷技术原理与应用
半导体
制冷技术
原理
应用
半导体制造设备预维修调度的知识进化算法研究
半导体
制造设备
预维修调度
知识进化算法
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 0.5um工艺时代的半导体制作设备
来源期刊 江南半导体通讯 学科 工学
关键词 随机存贮器 集成电路 工艺 设备
年,卷(期) 1992,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 97-107
页数 11页 分类号 TP333.8
字数 语种 中文
DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
随机存贮器
集成电路
工艺
设备
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江南半导体通讯
双月刊
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
出版文献量(篇)
141
总下载数(次)
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