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电子束抽运100W大孔径准分子KrF—激光器
电子束抽运100W大孔径准分子KrF—激光器
作者:
张粹伟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电子束
准分子
激光器
氟化氪
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文献信息
篇名
电子束抽运100W大孔径准分子KrF—激光器
来源期刊
国外科技
学科
工学
关键词
电子束
准分子
激光器
氟化氪
年,卷(期)
1992,(9)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
9-10
页数
2页
分类号
TN248
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国外科技
主办单位:
广东省科技情报所
出版周期:
年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
广州市连新路广东科馆
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创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
740
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