基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
纳米技术及其应用
纳米技术
纳米材料
能源利用
环境保护
纳米技术及其在塑料中的应用
纳米技术
塑料
综述
纳米技术的现状与展望
纳米技术
纳米材料
应用
纳米技术的发展及其在模具行业的应用
纳米技术
纳米材料
模具
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 纳米技术适用系统的实例:SR光刻及其边缘技术
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 纳米技术 集成电路 LSI SR光刻
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-13
页数 5页 分类号 TN470.57
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1993(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
纳米技术
集成电路
LSI
SR光刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导