SiO2—Ti纳米迭层膜的制备

李戈扬; 王张敏

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SiO2—Ti纳米迭层膜的制备

作者：

李戈扬王张敏

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纳米迭层膜

磁控溅射

SiO2-Ti

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文献信息

篇名	SiO2—Ti纳米迭层膜的制备
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	纳米迭层膜磁控溅射 SiO2-Ti
年，卷（期）	1993,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	45-48
页数	4页	分类号	TN304.905
字数		语种
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