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三温区带磁场高压单晶炉控温系统的设计
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文献信息
| 篇名 | 三温区带磁场高压单晶炉控温系统的设计 | ||
| 来源期刊 | LSI制造与测试 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 半导体材料 单晶制备 单晶炉 | ||
| 年，卷（期） | lsizzycs,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 1-6 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TF806.9 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
半导体材料
单晶制备
单晶炉
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位：
上海光学仪器研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
31-1459/TN
开本：
出版地：
上海江西中路450号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
366
总下载数（次）
0
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