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改进外延设备 节能效益显著
改进外延设备 节能效益显著
作者:
吴云波
孟俊荣
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半导体
制造
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篇名
改进外延设备 节能效益显著
来源期刊
机械电子节能
学科
工学
关键词
半导体
制造
外延炉
改进
节能
年,卷(期)
1993,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
31-33
页数
3页
分类号
TN305
字数
语种
中文
DOI
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研究来源
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期刊影响力
机械电子节能
主办单位:
河北石家庄174信箱404分箱
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
北京崇文区清华街49号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
236
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