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光栅干涉仪在高精度测量中的技术与应用
光栅干涉仪在高精度测量中的技术与应用
作者:
周俊
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光栅干涉仪
高精度测量
精密机床
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篇名
光栅干涉仪在高精度测量中的技术与应用
来源期刊
精密机床
学科
工学
关键词
光栅干涉仪
高精度测量
精密机床
年,卷(期)
jmjc_1993,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
44-51
页数
8页
分类号
TG502.37
字数
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高精度测量
精密机床
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研究来源
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相关学者/机构
期刊影响力
精密机床
主办单位:
昆明精密机床研究所
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
昆明市北郊茨坝昆明精密机床研究所
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
128
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