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文献信息
| 篇名 | 在三维基底上等离子体辅助的化学汽相沉积 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 等离子体 化学汽相沉积 陶瓷薄膜 | ||
| 年，卷（期） | gwhjb_1993,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 69-74 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN305.8 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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