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金属化膜生成工艺用群集设备
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文献信息
| 篇名 | 金属化膜生成工艺用群集设备 | ||
| 来源期刊 | 电子与自动化仪表信息 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 金属化膜 生成工艺 群集设备 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 36-41 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | O484 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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1994(0)
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研究主题发展历程
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金属化膜
生成工艺
群集设备
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期刊影响力
电子与自动化仪表信息
主办单位：
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
CN 12-1146/TH
开本：
出版地：
天津市解放北路151号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
471
总下载数（次）
5
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