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等离子辅助镀光学薄膜的研究
等离子辅助镀
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化学法
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应用
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电弧离子镀
AlN薄膜
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旋铆头
多弧离子镀
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 反应离子镀新技术低压等子体光学薄膜
来源期刊 光的世界 学科 物理学
关键词 光学薄膜 离子镀 等离子体
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 8-10
页数 3页 分类号 O484
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光学薄膜
离子镀
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光的世界
双月刊
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