在化学抛光中含氟气体的净化及回收

• 作者: 范恩荣
• 来源期刊: 环境与开发
• 学科: 地球科学
• 关键词: 化学抛光 含氟气体 回收 净化
• 年，卷（期）: 1994,（2）
• 页码范围: 258-259
• 页数: 2页
• 分类号: X789.01

摘要

本文介绍一种对高含量ＨＦ废气净化和ＨＦ回收简易可行方法。