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单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究
MEMS
静电硅微谐振器
单侧支撑结构
双侧支撑结构
AT切石英谐振器频率温度系数的研究
石英谐振器
频率温度系数
环境因素控制
硅基氮化镓微机械谐振器研究
氮化镓
MEMS谐振器
二维电子气
静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究
微型机电系统
静电硅微多折叠梁谐振器
横向振动模型
试验研究
谐振频率
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 导致AT切谐振器频率变化的非线性弹性系数的测定
来源期刊 压电晶体技术 学科 工学
关键词 AT切谐振器 非线性弹性系数 测定 石英谐振器
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 58-63
页数 6页 分类号 TN752.2
字数 语种
DOI
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
AT切谐振器
非线性弹性系数
测定
石英谐振器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
压电晶体技术
季刊
北京120信箱
出版文献量(篇)
454
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