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生物炼制的挑战与过程系统工程的机遇
过程系统工程
生物炼制
过程模拟与优化
基于D KNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视
邻域保持嵌入
K近邻
半导体蚀刻过程
健康状态监视
故障检测
绿色过程系统工程进展
过程系统工程
模拟与分析
系统优化
系统集成
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微系统工程用的蚀刻过程的模拟—可能性与极限
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 微系统工程 掩模 NAA 蚀刻 模拟
年,卷(期) 1994,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 7-10
页数 4页 分类号 TN405.7
字数 语种 中文
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微系统工程
掩模
NAA
蚀刻
模拟
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
总下载数(次)
1
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0
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