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微系统工程在工业中的应用(上)
微系统工程在工业中的应用(上)
作者:
Pahlke,W
大舟
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微系统工程
微型技术
工业应用
摘要:
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篇名
微系统工程在工业中的应用(上)
来源期刊
光机电世界
学科
工学
关键词
微系统工程
微型技术
工业应用
年,卷(期)
1994,(8)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
27-31
页数
5页
分类号
T-39
字数
语种
中文
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光机电世界
主办单位:
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
CN 22-1142/TH
开本:
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语种:
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195
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