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摘要:
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六方氮化硼原子层薄膜的制备研究
六方氮化硼
氢气流量
前驱物温度
低压化学气相沉积
直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备的研制
化学气相沉积
等离子体炬
金刚石膜
金刚石基底上氮化硼薄膜的场发射特性研究
氮化硼薄膜
场发射特性
磁控溅射
无碳氮化硼前驱体研究进展
氮化硼
无碳前驱体
聚硼吖嗪
聚氨基环硼氮烷
氨硼烷
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 热灯丝辅助射频等离子体CVD法生长立方氮化硼薄膜的研究
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 物理学
关键词 等离子体 立方氮化硼薄膜 CVD法 薄膜 生长
年,卷(期) 1995,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 91-96
页数 6页 分类号 O484.1
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1995(0)
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
立方氮化硼薄膜
CVD法
薄膜
生长
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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