涡轮型高真空泵的结构和性能

• 作者: Habl.,MH 陈文浩
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空泵 涡轮型 高真空泵
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 1-9
• 页数: 9页
• 分类号: TB752

摘要

涡轮分子泵实质上是为抽稀萍气体而设计的轴流压缩机。最早的开拓者或多或少继承了轴流压缩机的传统分级排列，当时，对交替排列的动，定叶列间的分子轨迹曾用模拟数学计算法予以确证。现代开展的泵大都为组合排列与混合排列结构，它们由涡轮分子组和涡轮牵引级组成，而且装在一个泵壳内的同一轴上。