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文献信息
篇名 在真空蒸发淀积a—Si及其化合物薄膜中离子轰击的作用
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 真空蒸发 离子轰击 硅薄膜 化合物薄膜 薄膜
年,卷(期) 1995,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 97-103
页数 7页 分类号 TN304.120
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真空蒸发
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硅薄膜
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薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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