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石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势
石墨衬底
晶体取向
热导率
断裂强度
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
类金刚石膜研究进展
类金刚石膜
成膜机理
结合力
摩擦性能
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 生长单晶金刚石膜
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 金刚石薄膜 单晶生长 外延工艺
年,卷(期) 1995,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 3-4
页数 2页 分类号 TN304.18
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1995(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石薄膜
单晶生长
外延工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子材料快报
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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576
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