用溅离子泵抽氢

• 作者: Welch,KM 吕世珍
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 重离子碰撞器 溅射离子泵 氢气 抽气量
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 21-28
• 页数: 8页
• 分类号: O572.2

摘要

本篇文章讨论了二极型和三极型离子泵抽氢的情况。并说明这些泵中所用的阴极材料类型对抽氢效率有重大影响。所举之例包括了有铝，钛和钛合金阴极材料泵的数据。数据表明的铝阴极二极型泵抽氢并不比抽氦更有效。在压强很低时使用钛阳极和泵体钛屏蔽下会对抽速有一定影响。