金属部件的射频氧等离子体清洗：过程研究

• 作者: Korzec,D 华和
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 氧 电容 耦合 金属表面 清洗 润滑剂
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 60-71
• 页数: 12页
• 分类号: TL67

摘要

研究了用电容耦合１３．５６ＭＨｚ低压氧放电来除去金属表面上的各种润滑剂（油和黄油）。不锈钢、工具钢、黄铜、铝和铜用作基底材料。在这种放电中，在金属表面上发生的离子轰击和化学反应可以提供高的清洗速度。已用空心阴极放电来提高等离子体密度，这与平板阴极放电位形不一样。清洗过程用发射光谱和质谱测定来确定其特征。