CCD用于全息光栅常数实时测量研究

• 作者: 李文成 秦绮雯
• 来源期刊: 敏通科技
• 学科: 工学
• 关键词: 全息光栅常数 测量 CCD
• 年，卷（期）: 1995,（7）
• 页码范围: 17-18
• 页数: 2页
• 分类号: TN256

摘要

本文讨论了在制造全息光栅过程中，ＣＣＤ实时测量全息光栅常数的方法，其方法可实现高精度、全自动在线测量全息光栅常数、比传统的测量方法优越。